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朗道燧岩工博会首秀国产EUV光源样机

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AI 综述

2026年10月14日,据IT之家报道,朗道燧岩在2026年第二十六届中国国际工业博览会上首次展示极紫外(EUV)光源系统样机。报道称,该样机被称作高端光刻机的“心脏”,是目前公开展示中国产进度最靠前的EUV光源样机;本次展出的光源系统国产化率达90%,绝大多数核心零部件为自主研发,技术路线与国际领先厂商一致,可用于芯片曝光测试。报道同时提到,现场工作人员坦言该光源系统距离量产仍需3至5年时间;当前面临的核心挑战在于提升输出功率和长期运行稳定性,工博会现场展示的样机验证了技术路线的可行性,但距离工业级应用所需的产品成熟度仍有明显差距。目前该事件仅有这一篇主报道,尚无后续跟进报道。

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10月14日
  1. IT之家
    朗道燧岩 EUV 光源系统样机亮相 2026 工博会,国产化率达 90%

    朗道燧岩在 2026 年第二十六届中国国际工业博览会上首次展示极紫外(EUV)光源系统样机,国产化率达 90%,绝大多数核心零部件为自主研发,可用于芯片曝光测试。

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