IT之家·2026-10-14 15:16· 2 小时前AI 评分62

朗道燧岩 EUV 光源系统样机亮相 2026 工博会，国产化率达 90%

朗道燧岩 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀：国产化率达 90%，距量产仍需 3~5 年

AI 导读

朗道燧岩在 2026 年第二十六届中国国际工业博览会上首次展示极紫外（EUV）光源系统样机，国产化率达 90%，绝大多数核心零部件为自主研发，可用于芯片曝光测试。

来源：IT之家 · ithome.com