三星蚀刻工艺配方泄露至泛林韩国分公司

1. 15:12
   IT之家

   三星电子蚀刻工艺配方泄露，泛林韩国子公司被曝违规传输

   三星电子半导体蚀刻工艺配方已泄露至泛林半导体（Lam Research）韩国分公司，三星于今年下半年察觉此事。泛林韩国分公司通过不合规申请多次进行未授权数据传输，将三星未授权移交的工艺配方以独立文件形式提供。工艺配方记录设备温度、压力、气体流量、处理时长等生产条件参数，三星总部层面已将其定性为重大技术泄露事件。

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