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三星电子蚀刻工艺配方泄露,泛林韩国子公司被曝违规传输

AI 导读

三星电子半导体蚀刻工艺配方已泄露至泛林半导体(Lam Research)韩国分公司,三星于今年下半年察觉此事。泛林韩国分公司通过不合规申请多次进行未授权数据传输,将三星未授权移交的工艺配方以独立文件形式提供。工艺配方记录设备温度、压力、气体流量、处理时长等生产条件参数,三星总部层面已将其定性为重大技术泄露事件。

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报道披露三星蚀刻工艺配方经设备数据授权流程外流至泛林韩国分公司,并指出配方含温度、压力、气体流量等参数。可据此观察半导体设备商与晶圆厂数据共享的权限边界和审计缺口,供产线数据治理与供应链合规人员参考;事件仍在调查,泄露范围与影响未获双方确认。

来源:IT之家 · ithome.com