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扩散模型在15样本下合成TEM图像

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AI 综述

2026年10月26日,一篇发表于arXiv计算机视觉板块的研究提出基于去噪扩散概率模型(DDPM)的合成TEM图像生成框架,面向数据受限条件下的半导体量测。报道称,该框架采用渐进式分块训练策略,从低分辨率图像块逐步扩展至全图,从而在仅15个样本的极端数据稀缺条件下实现从零训练。在最近邻1%的图像对上,合成DEVICE-TEM图像的MS-SSIM达0.985±0.002,而全集均值为0.587;盲测专家定性评估与结构相似度结果一致。上述条件与指标均针对该研究提出的DDPM框架及其实验设置,报道未说明该方法在其他数据集或更大样本条件下的表现。

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报道时间线

沿着报道,了解事件的不同侧面。

10月26日
  1. arXiv Computer Vision
    基于扩散概率模型的高保真合成TEM图像生成:面向数据受限的半导体量测

    研究提出一种DDPM框架,在仅15个样本的极端数据稀缺条件下从零训练生成合成TEM图像,采用渐进式分块训练策略从低分辨率块扩展至全图。在最近邻1%的图像对上,合成DEVICE-TEM图像的MS-SSIM达0.985±0.002(全集均值0.587),盲测专家定性评估与结构相似度结果一致。

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