arXiv Computer Vision· Johannes Boehm, Bappaditya Dey·· 2 小时前AI 评分31
基于扩散概率模型的高保真合成TEM图像生成：面向数据受限的半导体量测
High-Fidelity Synthetic Transmission Electron Microscopy Image Generation Using Diffusion Probabilistic Models for Data-Limited Semiconductor Metrology
AI 导读
研究提出一种DDPM框架，在仅15个样本的极端数据稀缺条件下从零训练生成合成TEM图像，采用渐进式分块训练策略从低分辨率块扩展至全图。在最近邻1%的图像对上，合成DEVICE-TEM图像的MS-SSIM达0.985±0.002（全集均值0.587），盲测专家定性评估与结构相似度结果一致。
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